浙江大学硅材料国家重点实验室

链接地址:

http://silab.zju.edu.cn/

机构简介:

  1985年,在浙江大学半导体材料研究所的基础上,由原国家计委批准建设硅材料国家重点实验室(原名高纯硅及硅烷国家重点实验室),88年正式对外开放。是国内最早建立的国家重点实验室之一。以重点实验室为依托的浙江大学材料物理与化学学科(原半导体材料学科)一直是全国重点学科,1978年获批国内首批硕士点(半导体材料),1985年获批国内第一个半导体材料工学博士点。

  从上世纪50年代开始,浙江大学在硅烷法制备多晶硅提纯技术、掺氮直拉硅单晶生长技术基础研究等取得系列重大成果,在国际上占有独特的地位;同时,实验室一直坚持“产、学、研”紧密结合,培育出浙江金瑞泓科技股份有限公司等国内硅材料的龙头企业,取得显著经济效益。自上世纪90年代以来,实验室研究方向不断拓宽。目前,实验室以硅为核心的半导体材料为重点,包括半导体硅材料、半导体薄膜材料、复合半导体材料以及功能材料微纳结构等研究方向。

  重点实验室主要从事硅单晶材料及半导体材料的基础科学与应用基础研究,己形成自己的特色,主要研究方向如下:

  (1)半导体硅材料的晶体生长,晶体加工和缺陷工程

  (2)半导体薄膜生长、物性评价及器件应用研究

  (3)复合半导体光电功能材料研究

  (4)微纳结构材料及物理